| 摘要 |
<p>본 발명의 과제는 기판의 반송을 정지시키지 않고 부상 스테이지로부터 반출하여, 기판의 피처리면에 대한 전사 자국의 발생을 억제하고, 처리량을 향상시키는 것이다. 기판(G)을 부상시킨 상태로 반송하는 부상 반송부(2A)와, 상기 부상 반송부의 후단에 배치되어, 상기 부상 반송부로부터 상기 기판을 수취하여 반송 롤러에 의해 반송하는 롤러 반송부(2B)를 구비하고, 상기 부상 반송부는, 상기 기판을 부상시키는 부상 스테이지(3)와, 상기 부상 스테이지의 좌우 측방에 평행하게 배치되는 동시에, 상기 롤러 반송부의 좌우 측방까지 연장 설치된 가이드 레일(5)과, 상기 가이드 레일을 따라서 각각 이동 가능하게 설치되어, 상기 기판의 테두리부를 하방으로부터 흡착 보유 지지 가능한 기판 캐리어(6)를 갖고, 상기 기판은, 상기 기판 캐리어에 의해 흡착 보유 지지되어, 상기 가이드 레일을 따라서 반송되어, 상기 기판의 선단이 상기 롤러 반송부의 소정 위치에 도달했을 때, 기판 캐리어에 의한 흡착이 해제된다.</p> |
