制备薄膜之系统;SYSTEM FOR PREPARING FILMS

摘要

本发明系提供一种制备薄膜之系统，特别系用以形成晶圆尺度薄膜，其特征为：一与反应室相连通的加热室，该加热室的加热单元系设于加热管路周围，藉此降低前驱物于管路输送时凝结的可能性。本发明又提供一种制备薄膜之系统，其特征为：一设有加热器之气体混合单元，藉此温控式设计，改善气体混合单元内侧表面为大面积且温度较低，易使前驱物在其内凝结的缺点。本发明更提供一种制备薄膜之系统，其特征为：一设于反应室和加热室间的辅助气体控制阀，藉此有效地精密调整进入反应室前驱物的量，达到晶圆尺度薄膜合成的精密控制。