位置特定处理中用以实现预测的系统性误差更正之设备及方法;APPARATUS AND METHODS FOR IMPLEMENTING PREDICTED SYSTEMATIC ERROR CORRECTION IN LOCATION SPECIFIC PROCESSING

摘要

描述一种使用一气体团簇离子束（GCIB）将工件的上层改质的方法。该方法包含：收集与一工件的一上层相关的参数资料；及藉由使用该参数资料，决定用于施加GCIB至该上层以改变一测得特征的初始轮廓的一预测系统性误差回应。此外，该方法包含：辨识该测得特征的一目标轮廓；引导GCIB朝向该工件的该上层；及至少部分基于该预测系统性误差回应和该参数资料，将该GCIB的一施加特性空间调变为该工件的该上层之上位置的函数，以达成该测得特征的该目标轮廓。