使用多重射束带电粒子束微影术于表面上形成图案之方法及系统;METHOD AND SYSTEM FOR FORMING A PATTERN ON A SURFACE USING MULTI-BEAM CHARGED PARTICLE BEAM LITHOGRAPHY

摘要

本发明揭露一种用于分裂或遮罩资料准备的方法，其中多数单一射束带电粒子束投射被用于产生多数多重射束投射，其中为个别的单一射束投射决定多重射束曝光资讯，且多重射束曝光资讯被用于产生一组多重射束投射。此外，本发明揭露一种用于分裂或遮罩资料准备的方法，其中多数单一射束投射系藉由计算多个该单一射束投射会形成于一表面的图像，而被用于产生一组多重射束投射。