| 摘要 |
<p>회전 테이블에 있어서의 기판 적재 영역측의 면에 플라즈마 생성용 가스를 공급하는 가스 공급부와, 플라즈마 생성용 가스를 유도 결합에 의해 플라즈마화하기 위해, 상기 회전 테이블의 중앙부로부터 외주부에 걸쳐 신장되도록 당해 회전 테이블에 있어서의 기판 적재 영역측의 면에 대향하여 설치된 안테나를 구비하도록 장치를 구성한다. 그리고 상기 안테나는, 상기 기판 적재 영역에 있어서의 회전 테이블의 중앙부측과의 이격 거리가, 상기 기판 적재 영역에 있어서의 회전 테이블의 외주부측과의 이격 거리보다도 3㎜ 이상 커지도록 배치한다.</p> |
