| 摘要 |
<p>본 발명은 유체 제어 장치의 대폭적인 개조를 행하지 않으면서, 라인간에 상이한 퍼지 가스의 공급을 가능하게 하기 위한 퍼지 라인 변경용 블록 조인트 및 이러한 퍼지 라인 변경용 블록 조인트를 구비한 유체 제어 장치를 제공한다. 본 발명의 유체 제어 장치에서는, 복수의 라인 중 적어도 하나에 있어서, 3방향 밸브용 통로부의 상측에 퍼지 라인 변경용 블록 조인트(5)가 접속되어 있다. 퍼지 라인 변경용 블록 조인트(5)는, 3방향 밸브용 통로부의 프로세스 가스용 입구 통로(7a)에 연통되는 프로세스 가스용 입구 통로(5a)와, 프로세스 가스용 입구 통로(5a)와 3방향 밸브용 통로부의 출구 통로(8a)를 연통하는 출구 통로(5b)와, 3방향 밸브용 통로부의 퍼지 가스용 입구 통로(9a)에 연통되지 않고 이것을 폐지하는 통로 폐지부(5c)와, 출구 통로(5b)에 연통되고 상면에 개구하는 신규 퍼지 가스용 입구 통로(5d)를 갖는다.</p> |
