发明名称 Obskurationsvorrichtung
摘要 Eine Obskurationsvorrichtung (28) für eine Projektionsbelichtungsanlage (1) umfasst eine Haltevorrichtung mit einer veränderbaren Konfiguration.
申请公布号 DE102015215948(A1) 申请公布日期 2015.10.15
申请号 DE201510215948 申请日期 2015.08.20
申请人 CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 GRUNER, TORALF
分类号 G03F7/20;G02B5/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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