一种金属阴极结构的考夫曼离子源

摘要

本实用新型涉及一种离子源，特别涉及一种金属阴极结构的考夫曼离子源。所述阴极呈空心桶结构，装置的阳极位于桶装结构的中心位置。本实用新型有益效果：经过改进结构的新型离子源，易断的灯丝阴极，替换为金属网状结构，提高了阴极的使用寿命。

主权项

一种金属阴极结构的考夫曼离子源，包括进气孔(1)、阳极(2)和阴极(3)，其特征在于：所述阴极(3)呈空心桶结构，装置的阳极(2)位于桶装结构的中心位置。