一种节能太阳能电池表面处理方法

摘要

本发明公开了一种节能太阳能电池表面处理方法，在电池片表面通过等离子体化学气相沉积法镀膜，镀膜的具体工艺为，在薄膜沉积初期，NH₃与SiH、的气体比例控制在1∶0.37左右，采取适当低的等离子体激发能量，沉积低致密性的薄膜，随着薄膜的生长，等离子体激发能量逐渐增加，NH₃与SiH、的气体比例逐渐由1∶0.4降低至1∶0.2，在薄膜外层生长出贫硅的氮化硅薄膜，同时随着等离子能量的增强，沉积出的薄膜致密性增加，生产出多层渐进膜。沉积是的温度控制在280-410℃的范围内，多层渐进膜的折射率为1.8-2.4。

主权项

一种节能太阳能电池表面处理方法，其特征在于：在电池片表面通过等离子体化学气相沉积法镀膜，镀膜的具体工艺为，在薄膜沉积初期，NH3与SiH、的气体比例控制在1:0. 37左右，采取适当低的等离子体激发能量，沉积低致密性的薄膜，随着薄膜的生长，等离子体激发能量逐渐增加，NH3与SiH、的气体比例逐渐由1：0.4降低至1：0.2，在薄膜外层生长出贫硅的氮化硅薄膜，同时随着等离子能量的增强，沉积出的薄膜致密性增加，生产出多层渐进膜，沉积是的温度控制在280—410℃的范围内，多层渐进膜的折射率为1.8一2.4。