发明名称 |
感光性组成物与光阻 |
摘要 |
|
申请公布号 |
TWI503625 |
申请公布日期 |
2015.10.11 |
申请号 |
TW102130229 |
申请日期 |
2013.08.23 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 |
发明人 |
林显光;陈素梅;郑昭德;刘玉玲;陈素惠 |
分类号 |
G03F7/028;G03F7/033;C08L101/16 |
主分类号 |
G03F7/028 |
代理机构 |
|
代理人 |
祁明辉 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼;林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼;涂绮玲 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼 |
主权项 |
一种感光性组成物,包括:一压克力黏合剂(Acrylic binder agent)一第一光交链单体(photomonomer),具有至少一乳酸寡聚合体及2个以上的不饱和压克力官能基,以该黏合剂之固含量为100重量份为基准,该第一光交链单体系约25~95重量份;以及一光起始剂,以该黏合剂之固含量为100重量份为基准,该光起始剂系约0.5~15重量份,其中该第一光交链单体的化学结构以化学式表示如下:
,其中R1为H或CH3,n为2~40之整数,m为2~6之整数,B为多官能基主体(multi-functional moiety)。 |
地址 |
新竹县竹东镇中兴路4段195号 |