发明名称 感光性组成物与光阻
摘要
申请公布号 TWI503625 申请公布日期 2015.10.11
申请号 TW102130229 申请日期 2013.08.23
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 林显光;陈素梅;郑昭德;刘玉玲;陈素惠
分类号 G03F7/028;G03F7/033;C08L101/16 主分类号 G03F7/028
代理机构 代理人 祁明辉 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼;林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼;涂绮玲 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼
主权项 一种感光性组成物,包括:一压克力黏合剂(Acrylic binder agent)一第一光交链单体(photomonomer),具有至少一乳酸寡聚合体及2个以上的不饱和压克力官能基,以该黏合剂之固含量为100重量份为基准,该第一光交链单体系约25~95重量份;以及一光起始剂,以该黏合剂之固含量为100重量份为基准,该光起始剂系约0.5~15重量份,其中该第一光交链单体的化学结构以化学式表示如下: ,其中R1为H或CH3,n为2~40之整数,m为2~6之整数,B为多官能基主体(multi-functional moiety)。
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号