成膜装置及成膜方法

主权项

一种成膜装置，系具备有真空腔、和具有从前述真空腔之底部而供给蒸镀材料之支持杆之炉床、和产生电浆使前述蒸镀材料昇华之枪、以及对于前述枪供给电力之电源，该成膜装置，其特征为：在前述炉床之内部，系设置有磁石，前述炉床和前述支持杆系被作电性连接，前述炉床以及前述支持杆系一同被与前述电源作连接。