测试探针及其制造方法

主权项

一种测试探针的制造方法，依序包括以下步骤：提供一探针本体，其系具导电性之金属探针，其一端与一基板间具有电性之连接，另一端用以与一待测元件之接脚接触，进行功能测试；浸渍该探针本体于一前处理溶液中或使该探针本体与复数前处理微粒子进行互相摩擦，以除去该探针本体表面的杂质，其中该前处理溶液系由氧化铝或氧化矽微粒子与具有硫醇基之烷氧化矽反应后，添加于一溶剂中所构成，该复数前处理微粒子系由氧化铝或氧化矽微粒子的表面，接枝有末端具有硫醇基之基团所构成；以及使用一奈米镀膜处理液，透过自组装，形成一奈米镀膜于该探针本体的表面，其中该奈米镀膜处理液为包含反应性成分之溶液，该奈米镀膜系由一有机成分所构成，该奈米镀膜对该探针本体的表面电阻之增加量，相对不具有该奈米镀膜之该探针本体的表面电阻之比值为10%以下，其中该有机成分的分子两端分别具有第一基团以及第二基团，该第一基团化学键结于该探针本体的表面，该奈米镀膜具有不沾黏性质。