发明名称 聚积型金氧半场效电晶体
摘要
申请公布号 TWI503986 申请公布日期 2015.10.11
申请号 TW102137499 申请日期 2013.10.17
申请人 国立大学法人东北大学 发明人 寺本章伸
分类号 H01L29/78;H01L21/28 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种聚积型金氧半场效电晶体(Accumulation Mode MOSFET),具备:形成有通道区域之半导体区域(102);用以形成上述通道区域之闸极电极(108);上述半导体区域(102)和上述闸极电极(108)之间的闸极绝缘膜(107);与上述半导体区域(102)相接,用以将载体注入至上述通道区域之源极区域部;与上述半导体区域(102)相接,用以从上述通道区域排出载体之汲极区域部;及埋入区域(110),该聚积型金氧半场效电晶体之特征在于:上述源极区域部包含释放电子隧道电流之隧道电子释放部(103-1);释放蓄积区域电流的热电子释放部(106-1);及源极电极(104),上述埋入区域(110)在上述源极区域部中系被配置在上述隧道电子释放部(103-1)和上述半导体区域(102)之间,具有与上述隧道电子释放部(103-1)相反的导电型,上述电子隧道电流系从上述隧道电子释放部(103-1)经由上述埋入区域(110)流至半导体区域(102),上述热电子释放部(106-1)系与半导体区域(102)接触,上述蓄积区域电流系从上述热电子释放部(106-1)直接流至上述半导体区域(102)。
地址 日本