| 摘要 |
<p>プラズマを生成するためのおよびターゲット（３）の方へ電子ビームを向けるための装置（２；２Ｉ；２ＩＩ；２ＩＶ；２Ｖ；２ＶＩ；２ＶＩＩ；２ＶＩＩＩ）であって；この装置（２；２Ｉ；２ＩＩ；２ＩＶ；２Ｖ；２ＶＩ；２ＶＩＩ；２ＶＩＩＩ）が、中空要素（５）；中空要素（５）とそれとは別である別の要素との間に、前記別々の要素の方へ電子ビームを向けるような方法で電位の差異を賦課するように設計されている活性化群（２１）；および、別々の要素の方へテーパをつけられる少なくとも１つのテーパ状部分（１３）を有し、かつ別々の要素の方へガスフローを加速するように設計されているドラバルノズル（２３）を備える装置。【選択図】図１</p> |
