| 摘要 |
<p>In einer Ausführungsform umfasst eine Fluidausstoßvorrichtung einen Dünnschichtfilm, der über einem Substrat ausgebildet ist. Eine Primer-Schicht ist über der Dünnfilmschicht ausgebildet, und eine Kammerschicht ist über der Primer-Schicht ausgebildet, die einen Fluidikkanal definiert, der zu einer Freisetzungskammer führt. Die Fluidausstoßvorrichtung umfasst einen Schlitz, der sich durch das Substrat und in die Kammerschicht durch ein Tintenzuführloch in die Dünnfilmschicht erstreckt. Die Fluidausstoßvorrichtung umfasst auch eine partikeltolerante Erweiterung der Primer-Schicht, die in den Schlitz hineinragt. In einigen Ausführungen erstreckt sich die partikeltolerante Primer-Schichterweiterung über eine ganze Breite des Schlitzes.</p> |
