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<p>Ein System zum Kombinieren einer Mehrzahl von N Lichtstrahlen zu einem einzigen, kohärenten Lichtstrahl, wobei das System versehen ist mit: einer Quelle (11, 13) zum Aussenden einer Mehrzahl von N Lichtstrahlen, welche eine gemeinsame Wellenlänge aufweisen; einer Phasemodulations-Stufe (14) zum Fixieren der Phasen der N Lichtstrahlen mit gemeinsamer Wellenlänge in Abhängigkeit von Phasen-Korrektursignalen; einem diffraktiven optischen Element (25), das die phasenfixierten N Lichtstrahlen mit gemeinsamer Wellenlänge zu einem kohärenten Ausgangs-Strahl (27) kombiniert und einen Niederleistungs-Probe-Teilstrahl (31) von dem kohärenten Ausgangs-Strahl (27) beugt, wobei der Strahlengang-Winkel und die Phase von jedem der N Lichtstrahlen genau so festgelegt ist, dass eine Ausrichtung entlang einer gewählten Beugungsordnungs-Richtung des diffraktiven optischen Elements gewährleistet ist, so dass die Intensität des kombinierten Ausgangs-Strahls des diffraktiven optischen Elements entlang einer einzigen Beugungsordnung maximiert ist; einer Phasen-Detektions-Stufe (35) zum Ermitteln der Phase von jedem der Lichtstrahlen, welche in dem Niederleistungs-Probe-Teilstrahl (31) enthalten sind; und einer Einrichtung (37) zum Ableiten von Korrektursignalen von den ermittelten Phasen.</p> |
