| 摘要 |
<p>本発明は、分極された試料（２）の表面電位を測定する方法において、−圧電アクチュエータ（５）によりその共振周波数で駆動されるマイクロレバー（４）に接続された鋭い先端（３）を用いて試料の表面を走査することで、前記試料（２）のトポグラフィックプロファイル（１１）を測定するステップと；−前ステップの際に得られた表面のトポグラフィックプロファイル（１１）との関係において一定の距離（ｄ）のところに前記鋭い先端（３）を置くステップと；−前記表面の静電電位（１３）を測定するステップと、を含む方法であって、トポグラフィックプロファイル（１１）の測定ステップの際には前記試料（２）を分極しないこと、ならびに電位プロファイル（１３）の測定の際には前記試料（２）を分極すること、を特徴とする方法に関する。【選択図】図１</p> |
