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发明名称
新規な障壁層スタック並びにその方法及びその構成
摘要
障壁層スタックが開示される。障壁層スタックは、(i)欠陥を含む障壁材;及び(ii)前記障壁材の前記欠陥を覆うシール;を含み、前記障壁層スタックの動作状態において、前記シールの存在は、前記障壁材の前記欠陥を介した蒸気及び/又は気体分子の拡散を低減させ又は防ぐ。
申请公布号
JP2015529583(A)
申请公布日期
2015.10.08
申请号
JP20150530119
申请日期
2013.08.30
申请人
ヴィトリフレックス・インコーポレーテッド
发明人
ラヴィ・プラサード
分类号
B32B27/00;B65D65/40;B65D81/24;H01L23/29;H01L23/31;H01L31/048
主分类号
B32B27/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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