一种选择性发射极太阳能电池的制备方法

摘要

一种选择性发射极太阳能电池的制备方法，该方法包括以下步骤：提供P型掺杂的硅片，该硅片包括第一表面以及与该第一表面相对的第二表面；通过离子注入的方式在所述硅片的第一表面形成N型浅掺杂层；根据前电极图形形状，在所述N型浅掺杂层上印刷磷浆；对所述硅片进行退火操作，使所述浆料中的磷原子扩散至所述硅片的内部，在位于所述浆料下方及其附近的所述硅片内形成N型重掺杂层；去除剩余的磷浆；在所述硅片的第一表面形成前电极、以及在所述第二表面形成背电极。本发明利用磷浆印刷和离子注入相结合的方式形成选择性发射极，可以形成高质量高均匀性的PN结，且工艺过程简单易行，易于进行工业化生产。

主权项

一种选择性发射极太阳能电池的制备方法，包括：a)提供P型掺杂的硅片（100），该硅片（100）包括第一表面（101）以及与该第一表面（101）相对的第二表面（102）；b)通过离子注入的方式在所述硅片（100）的第一表面（101）形成N型浅掺杂层（110）；c)根据前电极图形形状，在所述N型浅掺杂层（110）上印刷磷浆（200）；d)对所述硅片（100）进行退火操作，使所述浆料（200）中的磷原子扩散至所述硅片（100）的内部，在位于所述浆料（200）下方的所述硅片（100）内形成N型重掺杂层（210）；e)去除剩余的磷浆（200）；f)在所述硅片（100）的第一表面（101）形成前电极（401），以及在所述第二表面（102）形成背电极（402）。