发明名称 RF脉冲发生与RF计量、处理和控制的同步
摘要 公开一种射频(RF)系统。该RF系统包括RF传感器、模拟数字转换器(ADC)模块、处理模块和同步模块。该RF传感器测量RF输出的参数,并且基于该参数,生成RF信号。该ADC模块将该RF信号的样本转换为数字值。该处理模块基于该数字值生成处理过的值。该同步模块响应于该RF输出中的转变,输出该处理过的值中之一。
申请公布号 CN104969666A 申请公布日期 2015.10.07
申请号 CN201380072406.4 申请日期 2013.11.21
申请人 MKS仪器有限公司 发明人 戴维·J·库莫;拉里·J·菲斯克二世;亚伦·T·瑞多姆斯基;金宰显;李相元;乔纳森·斯米卡
分类号 H05H1/46(2006.01)I 主分类号 H05H1/46(2006.01)I
代理机构 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人 柴德海;康泉
主权项 一种射频(RF)系统,包括:RF传感器,测量RF输出的参数,并且基于所述参数来生成RF信号;模拟数字转换器(ADC)模块,将所述RF信号的样本转换为数字值;处理模块,基于所述数字值来生成处理过的值;以及同步模块,响应于所述RF输出中的转变,输出所述处理过的值中之一。
地址 美国马萨诸塞州