压敏电阻式压力传感器

摘要

提供一种压敏电阻式压力传感器，其不降低测定灵敏度地抑制因压敏电阻元件的热变动而引起的通电变动，由此能够实现高灵敏度以及高精度的压力测定。在膜片(31)和支撑部(32)的边界附近的膜片(31)上配置有压敏电阻部(R1、R2、R3、R4)。由此，能够高灵敏度地测定压力。各压敏电阻部(R1、R2、R3、R4)的压敏电阻元件组配置区域的面积全部相同，并且使所述区域的外形形状为相同的形状。由此，可以使压敏电阻部(R1、R2、R3、R4)之间的温度部分均匀化，所以能够抑制因压敏电阻元件的热变动而引起的通电变动。

主权项

一种压敏电阻式压力传感器，其特征在于，具备：具有边缘的平面形状为四角形的膜片；从周边支撑所述膜片的支撑部；以及分别具有由平行配置的多个压敏电阻元件构成的压敏电阻元件组配置区域，并在所述膜片的所述边缘附近且在所述支撑部附近的、在所述膜片上分别形成的第1、第2、第3和第4压敏电阻部，所述第1和第2压敏电阻部在所述膜片的平面上的第1方向上相对配置，所述第3和第4压敏电阻部在所述膜片的平面上的、与所述第1方向垂直的第2方向上相对地配置，在所述第1、第2、第3和第4压敏电阻部中，所述压敏电阻元件组配置区域的面积在各压敏电阻部中全部相同，并且所述区域的外形形状为相同的形状，所述第1、第2、第3和第4压敏电阻部分别具有与所述支撑部相向的部分，与所述支撑部相向的部分的大小在各压敏电阻部中是相同的，膜片的边缘和与支撑部相向的部分之间的距离在全部压敏电阻部中相同。