| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung (100) zum Messen einer physikalischen Größe. Die Messvorrichtung (100) umfasst ein Messelement (102), das ein elektrisch leitfähiges Material aufweist, eine Sensiermasse (104), die zumindest teilweise ein elektrisch leitfähiges Material aufweist, wobei die Sensiermasse (104) ausgebildet ist, um ansprechend auf eine Krafteinwirkung relativ zu dem Messelement (102) bewegt zu werden, und eine Auswerteeinheit, die ausgebildet ist, um unter Verwendung eines von einer Position des Messelements (102) gegenüber der Sensiermasse (104) und/oder von einem elektrischen Stromfluss durch das Messelement (102) abhängigen Tunnelstroms (108) eine physikalische Größe der Krafteinwirkung auf die Sensiermasse (104) zu bestimmen. |
