一种三环变迹镜及其制备方法和其测量等晕角的方法

摘要

本发明公开了一种三环变迹镜及其制备方法和其测量等晕角的方法，由同心的、交替排列的不透光圆环和透光圆环组成，从内到外透光圆环依次为内环、中间环和外环，其中内环最小半径为37.389mm，最大半径为43.840mm；中间环最小半径为62.890mm，最大半径为69.240mm；外环最小半径为81.940mm，最大半径为101.600mm。本发明提供的三环变迹镜相对于单孔径变迹镜，能够在所有高度很好的模拟孔径滤波函数W(z)≡cz^5/3，所得等晕角相对误差明显较小，可以实现对等晕角的高精度测量。

主权项

一种三环变迹镜，其特征在于，由同心的、交替排列的不透光圆环和透光圆环组成，从内到外透光圆环依次为内环、中间环和外环，其中内环最小半径为37.389mm，最大半径为43.840mm；中间环最小半径为62.890mm，最大半径为69.240mm；外环最小半径为81.940mm，最大半径为101.600mm；该三环变迹镜模拟孔径滤波函数W(z)≡cz^5/3时，其孔径滤波函数系数c＝8.847e‑17m⁴；所述的不透光圆环的透过率不大于1％，透光圆环的透过率不小于99.0％。