一种半导体表面处理化学品生产用装置

摘要

本实用新型涉及一种半导体表面处理化学品生产用装置，储液装置中安装有搅拌装置，储液装置在搅拌装置的一侧开设有加药口，加药口处设有封闭盖板，储液装置在加药口的下方设有防喷装置，防喷装置由固定板和防喷板组成，所述固定板固定在储液装置的内部，所述固定板的下端向加药口一侧折弯设有防喷板；所述储液装置的一侧设有转液装置，所述转液装置的一端连接有可调计量控制装置和定量储液装置，所述定量储液装置的下端设有输液管道，所述输液管道的下方安装有包装桶。本实用新型具备使化学品溶液混合均匀的优势，其具有保护生产中加药时药水溅射危害，确保生产安全，同时加药口具有密闭盖板，以防止化学品气味的外泄，保护生产环境的纯净。

主权项

一种半导体表面处理化学品生产用装置，包括搅拌装置、储液装置、转液装置、输液管道、包装桶和控制装置，其特征在于：所述储液装置中安装有搅拌装置，所述储液装置在搅拌装置的一侧开设有加药口，所述加药口处设有封闭盖板，所述储液装置在加药口的下方设有防喷装置，所述防喷装置由固定板和防喷板组成，所述固定板固定在储液装置的内部，所述固定板的下端向加药口一侧折弯设有防喷板；所述储液装置的一侧设有转液装置，所述转液装置的一端连接有可调计量控制装置和定量储液装置，所述定量储液装置的下端设有输液管道，所述输液管道的下方安装有包装桶。