用于稀有气体提纯的氮气供给装置

摘要

本实用新型公开了一种用于稀有气体提纯的氮气供给装置，包括：用于产生液氮的制氧机，所述制氧机设有两路输出，一路输出连接至液氮分离器，另一路输出连接至杜瓦罐；所述液氮分离器与用于冷凝稀有气体的冷凝器相连；所述冷凝器的下部与用于提取高纯稀有气体的精馏塔相连；所述精馏塔上设有稀有气体调节阀和稀有气体产品出口阀；所述杜瓦罐还与冷凝器相连。本实用新型的结构由于减少了压缩机，设备运行维护成本低，且避免了频繁开停压缩机以及气瓶充装等环节，人工操作量大大减少，生产效率得到有效提升。

主权项

一种用于稀有气体提纯的氮气供给装置，其特征在于，包括：用于产生液氮的制氧机，所述制氧机设有两路输出，一路输出连接至液氮分离器，另一路输出连接至杜瓦罐；所述液氮分离器与用于冷凝稀有气体的冷凝器相连；所述冷凝器的下部与用于提取高纯稀有气体的精馏塔相连；所述精馏塔上设有稀有气体调节阀和稀有气体产品出口阀；所述杜瓦罐还与冷凝器相连。