| 摘要 |
Μηχανισμός (12, 12a) και μέθοδος εναπόθεσης ημιαγώγιμου υλικού σε υπόστρωμα γυάλινου φύλλου (G) χρησιμοποιεί διανεμητή (22) που περιλαμβάνει θερμαινόμενο διαπερατό μέλος (24) διά μέσου του οποίου διέρχονται αέριος φορέας και ημιαγώγιμο υλικό για να παράσχουν ατμό που εναποτίθεται ως ημιαγώγιμο στρώμα στο μεταφερόμενο υπόστρωμα γυάλινου φύλλου. Το διαπερατό μέλος (24) είναι σωληνωτό και καθ' όλο το μήκος του διοχετεύεται τάση ηλεκτρικού ρεύματος που παρέχει τη θερμότητα, ενώ ο αέριος φορέας και ο ημιαγωγός ως σκόνη εισάγονται μέσα στο σωληνωτό διαπερατό μέλος για να εκρεύσουν από το εσωτερικό του ως ατμός. Κάλυμμα (34) που εκτείνεται γύρω από το σωληνωτό διαπερατό μέλος (24) διαθέτει άνοιγμα (36) διαμέσου του οποίου εκρέει ο ατμός για την εναπόθεση του ημιαγώγιμου στρώματος. Σε εκδοχή του μηχανισμού (12), το ημιαγώγιμο στρώμα εναποτίθεται στην πάνω επιφάνεια (56) του υποστρώματος του γυάλινου φύλλου (G), ενώ άλλη εκδοχή του μηχανισμού (12a) εναποθέτει το ημιαγώγιμο στρώμα στην κάτω επιφάνεια (54) του υποστρώματος. |
