| 发明名称 |
COBALT-CONTAINING COMPOUNDS, THEIR SYNTHESIS, AND USE IN COBALT-CONTAINING FILM DEPOSITION |
| 摘要 |
<p>본 발명은 코발트-함유 화합물, 이의 합성, 및 코발트 함유 필름의 침착을 위한 이의 용도를 개시한다. 개시된 코발트-함유 화합물은 하기 화학식 중 하나를 갖는다:[식 중, R, R, R, R및 R각각은 독립적으로 수소 및 선형, 시클릭 또는 분지형 탄화수소 기로 이루어지는 군으로부터 선택되고; 단 (a) R및 R및 R이 탄화수소 기인 경우 R≠R및/또는 R이고; (b) R이 H 인 경우 R및 R는 탄화수소 기이고; 또는 (c) R및 R가 H 인 경우 R은 C2-C4 탄화수소 기임].</p> |
| 申请公布号 |
KR20150111359(A) |
申请公布日期 |
2015.10.05 |
| 申请号 |
KR20157023395 |
申请日期 |
2014.01.31 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE |
发明人 |
GATINEAU SATOKO;KO, CHANG HEE;GIRARD JEAN MARC;GATINEAU JULIEN |
| 分类号 |
C07F15/06;C07F7/08;C23C16/18;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/42;C23C16/455;H01L21/285;H01L21/768 |
主分类号 |
C07F15/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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