Verfahren zum Bilden eines Batterieelements, ein Batterieelement und eine Batterie

摘要

Ein Verfahren zum Bilden eines Batterieelements umfasst Ätzen von Gräben in ein Substrat und ein kristallorientierungsabhängiges Ätzen der Gräben. Ferner umfasst das Verfahren das Bilden von Festkörperbatteriestrukturen innerhalb der Gräben.