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发明名称 ELECTROSTATIC CLAMP
摘要 <p>전극(2), 전극 상에 위치된 저항 재료의 층(6), 및 저항 재료 상에 위치된 유전체의 층(8)을 포함한 정전기 클램프(12)가 개시되며, 정전기 클램프는 유전체의 층으로부터 돌출하는 버얼(10)들을 더 포함한다.</p>
申请公布号 KR20150109448(A) 申请公布日期 2015.10.01
申请号 KR20157022621 申请日期 2013.12.05
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 KLOMP PETRUS;MERTENS BASTIAAN;NOTENBOOM ARNOUD
分类号 G03F7/20;H01L21/683;H01L21/687 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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