石英玻璃坩埚及其制造方法;VITREOUS SILICA CRUCIBLE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

摘要

课题：提供抑制高温下的变形的石英玻璃坩埚及其制造方法。 解决手段：石英玻璃坩埚1具有：圆筒状的直筒部10a、在直筒部10a的下端形成的角部10c、和隔着角部10c与直筒部10a连接的底部10b。另外，石英玻璃坩埚1具备：构成外层的内包气泡的不透明层11、和构成内层的除去了气泡的透明层12。至少直筒部10a中的不透明层11与透明层12的边介面在上下方向上形成周期的波面。