氦气之纯化方法及纯化系统;PURIFICATION METHOD AND PURIFICATION SYSTEM FOR HELIUM GAS

摘要

本发明提供一种可工业性地将稀薄氦气以小规模设备效率良好地纯化为高纯度之方法与系统。;本发明系于第1变压式吸附装置1之浓缩用吸附塔2a、2b、2c各自中依序实行吸附步骤、减压步骤、解吸步骤、升压步骤，使稀薄氦气所含之杂质气体吸附于吸附剂并将未被吸附剂吸附之浓缩氦气排出。对用以自第1变压式吸附装置1排出浓缩氦气之流路连接用以向第2变压式吸附装置101之复数个再浓缩用吸附塔102a、102b、102c各者导入浓缩氦气之流路。于各再浓缩用吸附塔中依序实行吸附步骤、减压步骤、解吸步骤、升压步骤，使浓缩氦气所含之杂质气体吸附于吸附剂并将未被吸附剂吸附之再浓缩氦气排出。