光源装置、放电灯及其制造方法、以及曝光装置

摘要

本发明之课题在有效率地进行放电灯之更换。本发明之光源装置30系用以使具有阳极及阴极设在内部之玻璃管、与相对该发光部分别设在阳极侧及阴极侧之灯口部28及26的放电灯1发光，其具备：保管放电灯1的保管部54、以可装卸之方式支承放电灯1之灯口部26的支承构件33、以可装卸之方式将电缆线24连结于被支承构件33支承之放电灯1之灯口部28的夹钳机构52、以及在支承构件33对灯口部26之支承及使用夹钳机构52之电缆线24对灯口部28之连结解除之状态下保持灯口部28将放电灯1在保管部54与支承构件33间搬送的灯搬送系56。