单晶的制造方法及装置

主权项

一种藉由浮区法以制造单晶的方法，其中该单晶在一感应加热线圈的帮助下，在一熔化区下方于结晶边界结晶，并且藉由一围绕该单晶的反射器来阻碍结晶热的散发，其中系藉由一于第一区中的加热装置于该结晶边界之一外边缘区域加热该单晶，其中该结晶边界的外边缘处的外三相点Ta与该结晶边界的中心Z之间的距离△系受到影响，使得该单晶藉由该加热装置所加热的区域系沿该单晶的纵向自该外三相点Ta开始具有一长度L，且该长度L不大于该距离△。