流体制御デバイス漏れ検出のための装置

摘要

流体制御デバイス漏れ検出のための装置を開示する。本開示に従う例示的な装置は複数のポートを含む。これらのポートの内の１つは、アクチュエータを駆動する供給圧力を受け取り、ポートのうちの別の１つは、流体制御デバイスのパージポートに流体的に結合する。本装置は、パージポートの値を計測するセンサと、この値を所定の値または以前に計測された値と比較して値が所定の閾値外にあるかを識別するプロセッサを含む。