摘要 |
<p>Es ist ein Drucksensor, mit einer mit einem Druck beaufschlagbaren und druckabhängig elastisch verformbaren Messmembran (3), einem keramischen Grundkörper (1, 15), der eine mittels einer druckdichten Fügung (7, 17) mit einem äußeren Rand einer ersten Seite der Messmembran (3) verbundene, der Messmembran (3) zugewandte Stirnseite aufweist, einer unter der Messmembran (3) eingeschlossenen Druckmesskammer (5), und einem elektromechanischen Wandler zur messtechnischen Erfassung einer druckabhängigen Verformung der Messmembran (3), beschrieben, der einen verbesserten Schutz gegenüber dynamischen Überlasten aufweist, und dessen Messmembran (3) durch die Fügung (7, 17) möglichst verspannungsfrei mit dem Grundkörper (1, 15) verbunden ist, indem die Messmembran (3) aus einem Metall, insb. aus Titan, besteht, und die Fügung (7, 17) eine Aktivhartlötung, insb. eine mit einem ternären eine Zr-Ni-Legierung und Titan aufweisenden Aktivhartlot ausgeführte Aktivhartlötung, ist.</p> |