一种等离子体处理装置、其静电夹盘及静电夹盘的制作方法

摘要

一种等离子体处理装置、其静电夹盘及静电夹盘的制作方法，所述静电夹盘包括金属基座，金属基座上方设置加热装置，加热装置上方设置导热板，导热板上方设置陶瓷绝缘层，通过设置加热装置和导热板距离基片的高度不同，以及在陶瓷绝缘层和导热板之间设置厚度可控的导热粘胶层，实现对陶瓷绝缘层表面温度均匀或具有特定温度梯度的多参数调节。本发明除了可以调节加热装置的电源功率外，还可以通过调节不同加热区加热装置的高度落差，不同加热区导热板的厚度，以及陶瓷绝缘层和导热板之间导热粘胶层的厚度，来实现对陶瓷绝缘层表面温度的调节，大大增加了静电夹盘的温度可控性，有利于快速的调节静电夹盘不同区域温度的均匀或特定梯度。