发明名称 CALIBRATION STRUCTURES FOR DIFFERENTIAL SIGNAL PROBING
摘要 A plurality of calibration structures facilitate calibration of a probing system that includes a differential signal probe having a linear array of probe tips.
申请公布号 WO2007145730(A3) 申请公布日期 2008.04.24
申请号 WO2007US10803 申请日期 2007.05.03
申请人 CASCADE MICROTECH, INC.;STRID, ERIC;CAMPBELL, RICHARD 发明人 STRID, ERIC;CAMPBELL, RICHARD
分类号 G01R31/302 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
主权项
地址