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发明名称 COMPOSITION AND PROCESS FOR WET STRIPPING REMOVAL OF SACRIFICIAL ANTI-REFLECTIVE MATERIAL
摘要
申请公布号 EP1551936(A4) 申请公布日期 2008.04.16
申请号 EP20030765600 申请日期 2003.07.16
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 BAUM, THOMAS, H.;BERNHARD, DAVID;MINSEK, DAVID;RATH, MELISSA
分类号 H01L21/02;C03C15/00;C09K13/00;C09K13/08;G03F7/42;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/311 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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