发明名称 III-V-Verbindungshalbleiter-Scheibe
摘要
申请公布号 DE69838566(T2) 申请公布日期 2008.02.07
申请号 DE1998638566T 申请日期 1998.04.23
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES LTD. 发明人 MIURA, YOSHIKI;MORIMOTO, TOSHIYUKI
分类号 H01L21/304;H01L21/76;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/762;H01L27/08;H01L27/12;H01L29/786 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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