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发明名称 Esterverbindungen, Polymere, Photoresistkompositionen und Mustererzeugungsverfahren
摘要
申请公布号 DE60127021(T2) 申请公布日期 2007.12.13
申请号 DE20016027021T 申请日期 2001.04.27
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD. 发明人 HASEGAWA, KOJI;NISHI, TSUNEHIRO;KINSHO, TAKESHI;WATANABE, TAKERU;NAKASHIMA, MUTSUO;TACHIBANA, SEIICHIRO;HATAKEYAMA, JUN
分类号 G03F7/039;C07C67/14;C07C67/31;C07C69/67;C07C69/716;C08F20/16;C08G61/08;G03F7/004 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
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