纳米金属粉体连续生产设备

摘要

本实用新型公开了一种纳米金属粉体连续生产设备，由真空获得测量及充气系统；等离子体/感应加热蒸发制粉系统；粒子控制系统；纳米金属粉体旋风分级收集系统；纳米粉体捕集、收集系统；大风量气体冷却循环系统；水冷循环系统；电气控制、监控系统；金属纳米粉体钝化系统和粉体真空封装及储存系统组成。本例具高真空、三枪结构；采用等离子体电源组合技术；引入纳米粉体分级系统和不同结构粒子控制器；含有金属纳米粉体的钝化、真空定量封装储存设备；采用等离子体/电磁感应复合蒸发和特殊蒸发坩埚技术等。实现纳米金属粉体连续生产，通过改变制粉室充气成分和风量，还可制纳米金属化合物和包覆型纳米金属粉体。具适用面广、操作维护方便等优点。

主权项

权利要求书1.一种纳米金属粉体连续生产设备，其特征是：由真空获得测量系统、充气系统、等离子体/感应加热复合蒸发制粉系统(10)、粒子控制系统(20)、纳米金属粉体旋风分级收集系统(30)、纳米粉体捕集及收集系统(40)、大风量气体冷却循环系统、水冷循环系统、电气控制及压力监控系统、金属纳米粉体钝化系统(50)和粉体真空封装及储存系统(60)组成；其中，等离子体/感应加热复合蒸发制粉系统(10)、粒子控制系统(20)、纳米金属粉体旋风分级收集系统(30)、纳米粉体捕集及收集系统(40)依次串联连接相通；大风量气体冷却循环系统出口与等离子体/感应加热复合蒸发制粉系统的风量入口连接相通、大风量气体冷却循环系统入口与纳米粉体捕集及收集系统风量出口连接相通；真空获得测量系统由真空测量规管(4)及抽真空设备组成，充气系统由多气路气体干燥除湿、流量测量组成，真空获得测量系统、充气系统分别与等离子体/感应加热复合蒸发制粉系统(10)、粒子控制系统(20)、纳米金属粉体旋风分级收集系统(30)、纳米粉体捕集及收集系统(40)、金属纳米粉体钝化系统(50)和粉体真空封装及储存系统(60)相接；电气控制及压力监控系统控制真空获得测量系统、充气系统、等离子体/感应加热复合蒸发制粉系统(10)、粒子控制系统(20)、纳米金属粉体旋风分级收集系统(30)、纳米粉体捕集及收集系统(40)、大风量气体冷却循环系统、水冷循环系统、金属纳米粉体钝化系统和粉体真空封装及储存系统的工作； 水冷循环系统分别与等离子体/感应加热复合蒸发制粉系统(10)、粒子控制系统(20)、纳米金属粉体旋风分级收集系统(30)、纳米粉体捕集及收集系统(40)的冷却装置相连通；金属纳米粉体钝化系统(50)和粉体真空封装及储存系统(60)均另外独立放置。