聚电解质/本征导电聚合物复合湿敏元件及其制作方法

摘要

本发明公开了一种聚电解质/本征导电聚合物复合湿敏元件及其制作方法。它是以微晶玻璃为基片，其上有多对叉指金电极，在微晶玻璃片基体和叉指金电极表面涂覆有交联季胺化的聚4－乙烯基吡啶和聚吡咯复合湿敏薄膜。本发明制备工艺简单，成本低，尤其适用于批量生产。所制备的湿敏元件在宽的湿度范围，特别是在中低湿(0～60％RH)环境下均具有阻抗值适中，灵敏度高，线性度好，响应快，回复性佳，稳定性强，在室温下检测等特点，可广泛应用于工农业生产过程，仓储，大气环境监测时对于环境湿度精确测量与控制。

主权项

1.聚电解质/本征导电聚合物复合湿敏元件，其特征在于：它具有微晶玻璃基体(1)，在微晶玻璃基体表面光刻和蒸发有多对叉指金电极(2)，在叉指金电极上连接有引线(4)，在微晶玻璃片基体和叉指金电极表面涂覆有湿敏薄膜(3)，湿敏薄膜为交联季胺化的聚4-乙烯基吡啶和聚吡咯复合膜。