发明名称 AUSNEHMUNGSPROFIL EINES SUSZEPTORS ZUM VERBESSERN DES PROZESSES
摘要
申请公布号 DE60124952(T2) 申请公布日期 2007.09.20
申请号 DE20016024952T 申请日期 2001.12.11
申请人 ASM AMERICA INC. 发明人 GOODMAN, G.
分类号 C23C16/458;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/324;H01L21/687 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
主权项
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