用于电子探针电声成像的电子束断续器

摘要

本实用新型公开了一种用于电子探针电声成像的电子束断续器，其包括左偏转板、右偏转板、偏转板台架、镜筒屏蔽管、固定压板，偏转板台架为筒体，在筒体下部装有镜筒屏蔽管，在偏转板台架顶部端面一字形开有一对真空排气槽和一对定位滑槽，真空排气槽和定位滑槽相互垂直；左、右偏转板由引板和主板组成，引板由主板弯折而成，主板被加工成圆弧形和圆弧形侧边组成的弧形板，左、右偏转板主板置于镜筒屏蔽管内，左、右偏转板引板被固定压板经固定螺丝固定在偏转板台架的定位滑槽内。本实用新型可对电子探针激发的电子束进行有效调制控制，保证电子探针的电子束束流强度和束斑大小，提高电子探针电声成像质量，其结构简单，可扩展性好。

主权项

1.一种用于电子探针电声成像的电子束断续器，包括左偏转板、右偏转板、偏转板台架，其特征是：所述电子束断续器还包括镜筒屏蔽管、固定压板，偏转板台架为筒体，在筒体下部装有镜筒屏蔽管，在偏转板台架顶部端面一字形开有一对真空排气槽和一对定位滑槽，真空排气槽和定位滑槽相互垂直；左、右偏转板由引板和主板组成，引板由主板弯折而成，主板被加工成圆弧形和圆弧形侧边组成的弧形板，左、右偏转板主板置于镜筒屏蔽管内，左、右偏转板引板被固定压板经固定螺丝固定在偏转板台架的定位滑槽内。