Ⅲ族氮化物基板的制造方法

摘要

本发明的目的在提供一种第三族氮化物基板的制造方法，使用通过金属线(22)而构成的金属线列(21)切断结晶块(3)，该结晶块(3)包含六方晶系第三族氮化物结晶。此时，以将结晶块(3)及金属线(22)中至少一方在与金属线(22)延长方向B直交的方向上进行传送并且一边供给研磨液一边切断结晶块(3)的方式，切断结晶块(3)。切断结晶块(3)时，将金属线(22)的延长方向B相对于结晶块(3)的{1－100}面倾斜3°以上。

主权项

1.一种第三族氮化物基板的制造方法，是通过使用金属线列，切断由六方晶系的第三族氮化物结晶构成的结晶块，从而制造第三族氮化物基板，其中，具有如下的切断上述结晶块的工序：一边将上述结晶块以及上述金属线列中的至少一方，送到与上述金属线列所含的金属线的延伸方向交叉的方向上，一边供给研磨液，同时切断上述结晶块，在切断上述结晶块时，使上述金属线列所含的金属线的上述延长方向相对于上述结晶块的{1-100}面倾斜3°以上。