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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 KR100676365(B1) 申请公布日期 2007.01.31
申请号 KR19990062554 申请日期 1999.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L27/06;H01L21/28;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8222;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L21/8242;H01L27/08;H01L27/108;H01L29/49;H01L29/78 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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