| 发明名称 |
CVD-REAKTOR UND VERFAHREN ZUM BETRIEB DESSELBEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69932919(D1) |
申请公布日期 |
2006.10.05 |
| 申请号 |
DE1999632919 |
申请日期 |
1999.11.25 |
| 申请人 |
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE |
发明人 |
LEYCURAS, ANDRE |
| 分类号 |
C23C16/46;C30B11/06;C30B11/00;C30B11/12;C30B19/00;C30B25/10;C30B29/52;H01L21/208 |
主分类号 |
C23C16/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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