发明名称 石英舟
摘要 一种石英舟,包括舟体和用于连接所述舟体同一侧的2个所述舟脚均为乳白不透明石英,材质上保证了统一性,在高温加工中,不会向外释放杂质微粒,确保石英舟所承载的被加工物体的纯度和良品率,且在检测环节,舟脚能一直保持对红外线较高的反射率,使得自动检测设备的定位能保持稳定,不会出现定位不准撞坏舟脚的问题,显著提高了石英舟的使用寿命。
申请公布号 CN202662580U 申请公布日期 2013.01.09
申请号 CN201220271505.8 申请日期 2012.06.11
申请人 苏州安融石英有限公司 发明人 常永喜;陈文;申应琪
分类号 H01L21/673(2006.01)I 主分类号 H01L21/673(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种石英舟,包括舟体(1)和用于连接所述舟体(1)的同一侧的两个舟脚(2),其特征在于:同一侧两个所述舟脚(2)均为乳白不透明石英。
地址 215123 江苏省苏州市工业园区娄葑镇东富路32号