| 发明名称 |
Hochauflösende Defekterkennung mit Positronenrekombination durch gleichzeitiges Einstrahlen eines Positronenstrahls und eines Elektronenstrahls |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE602004002031(D1) |
申请公布日期 |
2006.10.05 |
| 申请号 |
DE200460002031T |
申请日期 |
2004.05.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD. |
发明人 |
KOGUCHI, MASANARI HITACHI;TSUNETA, RURIKO HITACHI |
| 分类号 |
G01N23/22;G01N23/225;G01T1/161;G01T1/172;G21K1/00;G21K5/00;G21K5/04;H01J37/147;H01J37/256;H01J37/26;H01J37/28 |
主分类号 |
G01N23/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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