| 发明名称 |
Scheibenförmiges Siliziumsensorelement für einen Druckfühler sowie Druckfühler unter Verwendung eines derartigen Siliziumsensorelements |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10120069(B4) |
申请公布日期 |
2006.08.31 |
| 申请号 |
DE20011020069 |
申请日期 |
2001.04.24 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
LANDGRAF, HANS-PETER;OFFEREINS, HENDERIKUS-L. |
| 分类号 |
G01L7/08;B81B3/00;G01L9/00;G01L9/08 |
主分类号 |
G01L7/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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